职位详情

岗位职责：
1、负责光刻产品的工艺调试及分辨率、套刻精度等指标测试，同时完成在用户端使用过程中出现的问题的记录、反馈工作；
2、负责执行具体图形的光刻打样实验工作，做FEM实验并测量显影后图形参数以找出最佳曝光能量和聚焦值；使用FEM数据做工艺窗口分析，输出光刻打样实验报告；
3、通过自动化平台测试获得所监控的显影后图形的工艺参数，并对测试数据进行统计分析以评估设备的工艺稳定性；
4、负责光刻实验平台的持续建设、维护与管理，光刻胶材料选型与评估等相关工作；
5、与相关人员紧密协作，配合完成光刻实验工作。
岗位要求：
1、熟悉光刻工艺流程及光刻设备结构、工作原理和操作方法等；
2、熟悉光学膜厚仪、3D光学显微镜、扫描电镜等常用光刻工艺参数测量、形貌观察设备及测量表征方法；
3、具备实验设计和数据统计处理能力。